Podľa výrobnej metódy môžu byť produkty nitridu kremíka rozdelené na produkty na spekanie reakcie, produkty naliehavých na horúce, atmosférické sintringové výrobky, izostatické naliehavé výrobky a výrobky na prepustenie reakcií. Medzi nimi je reakčné spekanie široko používanou metódou na výrobu refraktérnych produktov nitridu kremíka.
Metóda reakčného spekania umožňuje získať produkty z nitridu kremíka stlačením alebo izostatickým lisovaním jemne zemného kremíka (veľkosť častíc obvykle nepresahuje 80 μm), vysychaním zeleného tela, zahrieva ho na 1350-1400 v odbore dusíka a nitro v procese pečenia. V tejto výrobnej metóde majú podmienky surovín, proces praženia a atmosféra veľký vplyv na výkonnosť produktu.
Silikónový prášok obsahuje veľa nečistôt, ako napríklad Fe, CA, AL, Ti atď. Fe sa považuje za katalyzátor v reakčnom procese. Môže podporovať difúziu kremíka, ale zároveň môže spôsobiť defekty, ako sú póry. Hlavná úloha Fe ako prísady: môže pôsobiť ako katalyzátor v reakčnom procese, ktorý podporuje tvorbu oxidového filmu SIO2 na povrchu produktu; Vytvorte systém taveniny železa -sikron a dusík sa rozpúšťa v kvapalnom FESI2, čo prispieva k tvorbe -si3N4. Ak sú však železné častice príliš veľké alebo príliš vysoké, v produkte sa objavujú defekty, ako sú póry, čo znižuje jeho výkon. Všeobecne platí, že množstvo pridaného železa je 0-5%. Nečistoty ako AL, CA a TI ľahko tvoria nízku eutektiku so kremíkom. Primerané množstvo prísad môže podporovať spekanie a zlepšiť výkonnosť produktu.
Čím je jemnejšia veľkosť častíc prášku kremíka, tým väčšia je špecifická plocha povrchu a čím nižšia teplota vypaľovania. V porovnaní s väčším kremíkovým práškom obsahuje jemnejší kremíkový prášok v produkte viac -si3n4. Zníženie veľkosti častíc prášku kremíka môže zredukovať mikroskopickú veľkosť pórov v produkte. Vhodný pomer veľkosti častíc môže zvýšiť hustotu produktu.
Teplota má veľký vplyv na rýchlosť nitridingu. Nitrujúca reakcia sa začína teplotou 970-1000 a rýchlosť reakcie sa zrýchľuje pri teplote asi 1250 stupňov. V štádiu vysokej teploty, pretože je to exotermická reakcia, ak teplota rýchlo prekročí teplotu topenia kremíku (1420 stupňov), môže sa vyskytnúť prietok kremíka a silní práškové medzery sa topia a zrútia sa.